全氟化合物
更新时间：2024-09-18 05:11:15
全氟化合物的词语属性
拼音quán fú huà hé wù
拼音字母quan fu hua he wu
拼音首字母qfhhw
全氟化合物的百科含义
PFC是指全氟化合物，在半导体制造领域，主要是在CVD工序中做为清洁气体使用和在干法刻蚀工序中作为工艺气体使用。其由于能破坏地球的臭氧层产生温室效应已经被列为减少排出对象。
PFC是指全氟化合物，在半导体制造领域，主要是在CVD工序中做为清洁气体使用和在干法刻蚀工序中作为工艺气体使用。其由于能破坏地球的臭氧层产生温室效应已经被列为减少排出对象。