磁控溅射法
更新时间：2024-12-31 03:43:52
磁控溅射法的词语属性
拼音cí kòng jiàn shè fǎ
拼音字母ci kong jian she fa
拼音首字母ckjsf
磁控溅射法的百科含义
磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。
磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。