离子束外延

更新时间:2024-11-08 19:15:04

离子束外延的词语属性

拼音lí zǐ shù wài yán
拼音字母li zi shu wai yan
拼音首字母lzswy

离子束外延的百科含义

离子束外延是在真空环境中,用含有外延生长所需元素的低能离子束在衬底上生长单晶薄层的工艺。